现在全球就只有ASML一家能造EUV光刻机,别的企业都造不出来。为啥呢?一方面,EUV光刻机制造难度确实大,供应链又多,ASML把这些供应链都紧紧抓在自己的联盟圈子里,其他企业根本拿不到核心元件。另一方面,ASML在EUV技术方面申请了好多专利,其他企业想绕开这些专利太难了,不绕吧又会侵权,也很麻烦。

另外,别看EUV现在这么火,其实真正的市场没想象中那么大,市场根本养不活太多做EUV光刻机的企业。一家企业做能活得挺好,要是有两家、三家,那就不一定了。所以这些年,大家就看着ASML一家独大,其他企业大多都不往EUV方向搞研发了,反而去研究NIL、BEL、DSA、X射线这些方向,想找出一条和EUV不一样的路。因为只有和它不一样,才有可能颠覆它,要是跟在ASML后面,很难把它打败。
胜利那一刻,巴黎圣日耳曼的更衣室里弥漫着一种幸福的喜悦。尽管比赛强度之大让球员们浑身酸痛,但士气高昂。巴科拉、克瓦拉茨赫利亚、埃尔南德斯等球员忙着接受赛后采访,还有一些人匆匆赶往更高处的家属包厢,这使得大家没有时间长时间地分享这份喜悦。但这种集体的喜悦,在近几个月来并不常见。

在意甲历史上,无论是国米还是米兰,如果他们在一个赛季内的联赛主客场德比战都输球时,那么这支球队从未赢得过那个赛季的意甲冠军。国米过去曾在1962-63赛季主客场米兰德比战两度战平的情况下夺得冠军,但也从未在输掉两场联赛德比战的赛季夺冠。
最近,日本科学界吹了个牛,说也要研发EUV光刻机。原因是他们找到了另一条路,据说一旦成功,能把EUV光刻机的成本降低75%,只要ASML产品价格的四分之一。他们的办法是对同轴(in - line)光学架构动手,对现有的EUV整套照明系统、投影物镜来个颠覆性的重新设计,然后再用半径凹凸反射镜组合,最后形成EUV方案。

日本研究团队说,这样做能达到2 - 3nm的精度,成本还能降低75%,能让更多企业买得起EUV光刻机,这样就能推动先进工艺快速发展,满足现在AI等芯片的需求。
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日本这项研究的意义在于,一方面绕开了ASML在EUV上的大量专利,开辟了新路子;同时也绕开了ASML绑定的一些核心供应商,像蔡司的特镜系统等,让其他企业有可能不通过这些供应链,实现核心元件的量产。
不过,目前他们这更多只是理论,就做了个仿真测试,连样机都没有,纯粹就是做了个模拟性的测试,而且还是在反射镜100%无损耗、零缺陷的情况下得出的结论。

但实际上到真正量产的时候,会有各种各样的问题。所以我觉得现在真就是吹牛阶段,从吹牛到最终量产,不知道要多少年,甚至有可能永远都搞不出来。
但不管怎么说,日本的这项研究多少还是会给行业带来一些思考和参考。现在大家被EUV这事儿困扰很久了股票线上投资,特别是咱们,所以自然是希望EUV能有突破的。
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